低熱損電極精密加工設(shè)備
品牌：杭州厚物電子科技有限公司，型號(hào)：Innolas 200
專為電子和精密工程行業(yè)的高精度應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
主要用于材料微孔鉆孔、切割（布線）、結(jié)構(gòu)化和空腔形成
加工尺寸為350 x 350 x 15 mm。
獨(dú)特激光運(yùn)動(dòng)技術(shù)確保切割質(zhì)量
適合多種電子材料
加工材料
柔性電子
LTCC
硅片
鐵氧體
金屬
藍(lán)寶石
特點(diǎn)：
自主研發(fā)制造激光頭
高精度超快激光系統(tǒng)
自動(dòng)攝像機(jī)校準(zhǔn)
自動(dòng)排氣系統(tǒng)
MES接口
自動(dòng)視覺系統(tǒng)，
同軸觀測(cè)，實(shí)時(shí)監(jiān)控
自動(dòng)對(duì)焦
精確對(duì)準(zhǔn)縮放、偏移
技術(shù)數(shù)據(jù)
激光器 |
波長(zhǎng) | 355nm |
脈寬 | 15ns |
功率 | 0.1-8W |
光束質(zhì)量 | 1.1 |
頻率范圍 | 25~500kHz |
光斑 | 15μm |
基材厚度測(cè)量模塊 | 內(nèi)置，測(cè)量厚度：20-400um |
冷卻系統(tǒng) | 內(nèi)置（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境友好） |
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) 
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模式 | 大理石平臺(tái)，十字運(yùn)動(dòng)模式（XYZ三向） |
主動(dòng)式材料測(cè)量 | 內(nèi)置接觸式傳感裝置 |
加工幅面 | 350mm×350mm×15mm |
重復(fù)精度 | ±1.8μm |
材料固定模式 | 納米級(jí)微孔陶瓷墊板吸附基材，幅面350mm×350mm |
光路及視覺模塊 
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模式 | 固定，無(wú)反射鏡，激光束直接進(jìn)入振鏡 |
振鏡精度 | 0.25μm |
振鏡分辨率 | 0.1μm |
視覺系統(tǒng) | 同心模式，實(shí)時(shí)觀測(cè) |
視覺分辨率 | ±1.8μm |
柔性電極的快速制備 
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可加工材料 | LCP，PET，PI為介質(zhì)的薄膜鍍層材料的電路快速制備 |
介質(zhì)損傷 | ＜3um |
線寬線距 | Min15um/15um |
軟件 | 軟件兼?zhèn)鋽?shù)據(jù)處理能力和操作設(shè)備能力 |